Savin, Víktor Vasilievich
| Víktor Vasilievich Savin | |
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| Fecha de nacimiento | 31 de mayo de 1927 |
| Fecha de muerte | 3 de julio de 1978 (51 años) |
| Ocupación | Director de NIITM y Planta Elion |
| Premios y premios |
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Viktor Vasilyevich Savin (1927-1978) - Director del Instituto de Investigación de Tecnología y la planta de Elion (1965-1978), ganador del Premio Lenin (1974).
Nacido el 31 de mayo de 1927.
Desde 1964 y. sobre. director, desde enero de 1965 director del Instituto de Investigación de Ingeniería de Precisión (NIITM) y de la planta de Elion (Zelenograd).
Durante su liderazgo creó:
- instalaciones de pulverización al vacío basadas en el modelo básico UVN-70A-1, una instalación de haz de electrones ELUM-1 para la producción de circuitos integrados híbridos, instalaciones para el crecimiento de capas epitaxiales, una instalación láser para el procesamiento de productos microelectrónicos (1966-1967).
- un conjunto de equipos "Korund-S" para la producción en masa de circuitos integrados en obleas de silicio con un diámetro de 40 y 60 mm (1968).
- equipo de pulverización al vacío de múltiples posiciones y múltiples reactores para la producción de circuitos integrados (1969).
- equipo para la producción de circuitos integrados en obleas con un diámetro de 76 mm (1970).
- instalaciones de pulverización al vacío con haz de electrones y sistemas de iones (1971).
- conjuntos de equipos para la producción en masa de circuitos integrados (1972-1974).
- instalaciones de pulverización al vacío de alto rendimiento de funcionamiento semicontinuo y continuo, líneas de producción automatizadas para operaciones físicas y térmicas, conjuntos de equipos de plasma-química (1975-1977).
Candidato a Ciencias Técnicas.
Murió el 03/07/1978. Fue enterrado en el cementerio de la ciudad de Zelenograd.
En 1974, por su contribución a la organización del Centro Científico de Microelectrónica, la formación y el desarrollo de la ciencia y la industria en Zelenograd, recibió el Premio Lenin como parte de un equipo ( K. A. Valiev , G. Ya. Guskov , L. N. Livintsev , A. Yu. Malinin ) [ 1] .
Notas
- ↑ Resolución del Comité Central del PCUS y del Consejo de Ministros de la URSS del 21 de abril de 1974