Tratamiento con plasma
El procesamiento de plasma es el proceso de procesamiento de materiales utilizando plasma de baja temperatura generado por arco o sopletes de plasma de alta frecuencia para cambiar la forma, el tamaño, la estructura del material que se procesa o el estado de su capa superficial. Las variedades de procesamiento de plasma son: separación y corte de superficies, recubrimiento, rociado, soldadura [1] .
Las subespecies de tratamiento con plasma son:
Galería
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Corte por plasma
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Realización de agujeros con plasma (perforación con plasma)
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Pulverización de plasma al vacío
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El esquema para establecer la pulverización de plasma: 1- Cátodo . 2 - Suministro de material en polvo. 3 - Partes del polvo. 4 - Partes fundidas del polvo. 5 - Objeto pulverizado. 6 - Forro. 7 - Gas formador de plasma. 8 - Ánodo . 9 - Arco de plasma. 10 - Chorro de plasma con partículas de polvo.
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Esquema de la instalación de soldadura por plasma: 1 - Gas formador de plasma. 2 - Boquilla protectora. 3 - Chorro. 4 - Electrodo. 5 - Boquilla de estrechamiento. 6 - Arco eléctrico.
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Equipos de tratamiento de superficies con plasma (limpieza)
Notas
- ↑ Kovshov A.N. Tecnología de ingeniería. - M., Mashinostroenie, 1987. - pág. 290
Literatura
- Sosnin N. A., Ermakov S. A., Topolyansky P. A. Tecnologías de plasma. Guía para ingenieros. Editorial de la Universidad Politécnica. San Petersburgo: 2013. - 406 p.
- Ivanovsky G. F. , Petrov V. I. Procesamiento de materiales por plasma iónico. - M. : Radio y comunicación, 1986.
- D. Tolliver, R. Nowitzki, D. Hess y otros; ed. N. Einspruck, D. Brown. Tecnología de plasma en la producción de VLSI. — M .: Mir, 1987. — 469 p.
- Danilin BS, Kireev V. Yu. Aplicación de plasma de baja temperatura para grabado y limpieza de materiales. - M. : Energoatomizdat, 1987. - 263 p.
- Danilin B.S. El uso de plasma de baja temperatura para la deposición de películas delgadas. — M .: Energoatomizdat, 1989. — 328 p.
- Popov VF, Gorin Yu. N. Procesos e instalaciones de tecnología de iones de electrones. - M. : Superior. escuela, 1988. - 255 p. — ISBN 5-06-001480-0 .
- Vinogradov M.I., Maishev Yu.P. Procesos de vacío y equipos para tecnología de haz de iones y electrones. - M. : Mashinostroenie, 1989. - 56 p. - ISBN 5-217-00726-5 .