Las válvulas de vacío son válvulas de tubería que aseguran el desempeño de sus funciones a presiones absolutas de operación inferiores a 0,1 MPa (1,0 kgf / cm² ) [1] . Incluye dispositivos auxiliares, generalmente típicos de los sistemas de vacío , que incluyen: [2]
Los accesorios de vacío requieren una estanqueidad muy alta de todas sus partes y conexiones y una separación muy pequeña de gas de sus paredes y sellos . Las uniones de los accesorios de bajo vacío se sellan con juntas de goma de vacío, las varillas móviles se sellan con prensaestopas de un diseño especial. En los sistemas de vacío alto y ultra alto , los fuelles se usan comúnmente para mover las varillas ; Las juntas para accesorios de ultra alto vacío están hechas de grados especiales de caucho resistente al calor, algunos tipos de plásticos y metales dúctiles [2] .
El accionamiento de las válvulas de vacío y obturadores puede ser manual (designaciones respectivamente KSVR, ZSVR), electroneumático (KSVP, ZSVP), electromagnético (KSVM) [3] .
La conductividad teórica (en modo molecular) U , l / s , para el aire ( M = 28,8, T = 300 K ) es: [3]
Los flujos de gas en el régimen viscoso y de viscosidad molecular se pueden calcular con base en la teoría de la similitud ; para sistemas geométricamente similares, la conductividad depende del área de la sección transversal, la relación entre la longitud y el diámetro efectivos, el índice adiabático del gas, el número Kn y, en menor medida, de los números Re y M [4 ] .