Escaneo de contador (BC, ing. CS - contraescaneo ) es un método de escaneo que le permite corregir distorsiones de trama causadas por la deriva de la sonda del microscopio de escaneo en relación con la superficie que se está midiendo. Durante VS, se obtienen dos escaneos de superficie: directo y contador (ver Fig. 1). La exploración del contador comienza en el punto donde finaliza la exploración hacia adelante. Este punto se denomina punto de coincidencia (TC). El movimiento de la sonda a lo largo de la línea de trama y el movimiento de la sonda de línea a línea de trama se realizan en la exploración contraria en direcciones opuestas a las direcciones de movimiento en la exploración directa. El par de imágenes obtenidas durante VS se denominan imágenes escaneadas por contador (CSI).
Si la distorsión de la trama es lineal, es decir, cuando se desplaza a una velocidad constante, es suficiente medir las coordenadas de una sola característica común para corregir la desviación en los escaneos directos y contrarreloj. En el caso de distorsión no lineal, cuando la velocidad de deriva cambia durante el tiempo de exploración, el número de características comunes en el HSI cuyas coordenadas deben medirse aumenta con el grado de no linealidad.
Como regla general, la deriva de la sonda del microscopio en relación con la superficie medida incluye dos componentes: uno está asociado con la fluencia ( fluencia ) de la piezocerámica del escáner usado , el otro es causado por la deformación térmica del dispositivo debido a los cambios de temperatura. El primer componente no es lineal (aproximado por el logaritmo ), el segundo componente en la mayoría de las aplicaciones prácticas puede considerarse lineal.
El uso del método VS permite, incluso en presencia de una fuerte deriva, que conduce a errores de decenas de por ciento, medir la topografía de la superficie con un error de décimas de por ciento.
(a)
(b)
Arroz. 1. Escaneo de contador: (a) con movimiento inverso inactivo (mostrado por línea punteada), (b) sin movimiento inverso inactivo. Los números 1…4 indican los números de las imágenes recibidas. 1, 3 – imágenes directas, 2, 4 – contraimágenes correspondientes a las directas. TS es el punto de alineación de un par de imágenes contraexploradas. El ráster que se muestra condicionalmente consta de cuatro líneas.
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