Una microsonda es un dispositivo para realizar microanálisis espectrales de rayos X (determinar la composición atómica de una sustancia en un volumen pequeño).
El principio de funcionamiento de la microsonda es el siguiente: se genera un haz de electrones , que las lentes electromagnéticas recogen en un haz estrecho: una sonda de electrones. Al entrar en la muestra, los electrones eliminan electrones de las capas de los átomos de la sustancia y generan una radiación de rayos X característica . Cada elemento irradia en su conjunto característico de frecuencias y puede ser identificado por él. Las concentraciones de los elementos se determinan a partir de la intensidad de la radiación.
Actualmente, la microsonda suele ser una variante del microscopio electrónico de barrido que está optimizada para el análisis espectral de rayos X. Por lo tanto, la mayoría de las microsondas también pueden realizar las funciones de un microscopio electrónico.
Para realizar un análisis cuantitativo con microsonda, la superficie de la muestra debe pulirse y limpiarse. las irregularidades conducen a una dispersión atípica de rayos X y errores significativos en la determinación de la concentración de elementos. Para evitar la acumulación de carga en la superficie de la muestra dieléctrica, se deposita sobre ella una fina película conductora, normalmente de carbono .