Perfilometría ( ing. perfilometría ) - el proceso de medir ("eliminar") el perfil de una sección de superficie en un plano perpendicular a él y orientado en una dirección dada.
La representación gráfica de un perfil tomado durante la perfilometría se denomina perfilograma. La información obtenida durante el procesamiento de perfilogramas se utiliza para calcular parámetros estándar y permite una evaluación cualitativa y cuantitativa de la rugosidad de las superficies en estudio . Un conjunto de perfilogramas, tomados con cierto paso y ordenados secuencialmente en un sistema de coordenadas tridimensional, da una representación visual de la topografía de la superficie.
El registro de perfilogramas, así como la obtención de una imagen tridimensional de las superficies de cuerpos sólidos, se puede realizar con dispositivos de tipo contacto o sin contacto. Los dispositivos diseñados para esto se llaman perfilómetros o perfilógrafos. En los dispositivos de tipo contacto , la copia del perfil se realiza moviendo la aguja a lo largo de una superficie rugosa a examinar. Los dispositivos sin contacto incluyen microscopios ópticos y electrónicos de barrido , así como dispositivos que usan radiación monocromática (en particular, láser ) para escanear la superficie.