La espectroscopia de rayos X de energía dispersiva ( EDX , EDRS o EDS ) es un método analítico para el análisis elemental de un sólido, basado en el análisis de la energía de emisión de su espectro de rayos X, una variante del análisis espectral de rayos X.
Con la ayuda de un haz de electrones (en los microscopios electrónicos) o de rayos X (en los analizadores de fluorescencia de rayos X) , los átomos de la muestra objeto de estudio se excitan emitiendo una radiación de rayos X propia de cada elemento químico . Al estudiar el espectro de energía de dicha radiación, se pueden sacar conclusiones sobre la composición cualitativa y cuantitativa de la muestra.
El método de espectroscopia de rayos X de dispersión de energía se puede utilizar en el estudio de objetos en un microscopio electrónico de barrido o en un microscopio electrónico de transmisión , donde el objeto se examina utilizando un haz de electrones enfocado de alta energía.
Se crea un alto vacío (10 −7 mbar ) en la cámara del microscopio para minimizar la interacción de los electrones con las moléculas de aire. El detector de rayos X requiere refrigeración, que normalmente se proporciona mediante un recipiente de nitrógeno líquido o un dispositivo basado en el efecto Peltier .
Durante el funcionamiento de un microscopio electrónico, un haz de electrones sale de una fuente, un cañón de electrones , y es acelerado por un alto voltaje. Al chocar con un objeto, parte de los electrones se dispersa dependiendo del número de serie del elemento y su entorno en la estructura cristalina, parte excita los átomos de la sustancia del objeto, provocando la emisión de radiación característica. Analizando el espectro de energía de la radiación de rayos X emitida , proveniente de la interacción de un haz de electrones y los átomos de un objeto, utilizando un detector ( cristales de Si con impurezas de Li ) de un microscopio electrónico, también se estudia adicionalmente su composición.
El análisis de máximos individuales del espectro de rayos X por su ubicación (la longitud de onda de un máximo de emisión de un determinado elemento) y la intensidad también se lleva a cabo en el método relacionado de espectroscopia de rayos X de dispersión de longitud de onda (WDS), que tiene un orden de magnitud mayor sensibilidad y poder de separación espectral, pero menos rápido.